三坐標測量儀的校準主要解決的經典問題是發現測量儀六個或六個以上的特征，并建立其局部的坐標系統。對三坐標測量儀進行校對必須滿足以下準則：

第一，所選擇的三點的矢量方向應保持基本一致，并且應用于校平零件。

第二，隨后所選擇的兩點的矢量方向也要保持基本一致，并且用于和前三點的矢量方向保持基本垂直，主要應用于找正零件的方向。

第三，第六點的矢量方向要與前五點的矢量方向保持基本垂直，并且用于定義坐標的原點。

除此之外，選擇的特征越多，相應的校準的精度就會越高。

所以，此方法對于校準單個的零件十分有效。但是，對于批量的產品來說，此方法的效率顯然是很低的，除了重復單個零件的校準過程以外，暫時還沒有專門針對批量產品的校準以及評估誤差的有效方法。通常情況下，批量產品的校準和評估誤差的方法可以利用人工對基準零件進行校準的方法。對于夾在同一個工作臺上的零件，可以采用基準點的方法使得程序自動進行校準。